| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04105329(A) |
申请公布日期 |
1992.04.07 |
| 申请号 |
JP19900223666 |
申请日期 |
1990.08.23 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IWATA HIROSHI;NOGUCHI SHIGERU;SANO KEIICHI;ISHIDA SATOSHI |
| 分类号 |
C23C16/24;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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