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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04102333(A) 申请公布日期 1992.04.03
申请号 JP19900219110 申请日期 1990.08.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIOKA HIROSHI
分类号 C23C16/24;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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