发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FOR TEST USE
摘要
申请公布号 JPH04102345(A) 申请公布日期 1992.04.03
申请号 JP19900220200 申请日期 1990.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKA MASAO
分类号 G01R31/26;G01R31/30;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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