发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04102326(A) 申请公布日期 1992.04.03
申请号 JP19900219113 申请日期 1990.08.22
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 MURAKAWA TAKASHI
分类号 H01L21/316;H01L21/318;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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