发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04101445(A) |
申请公布日期 |
1992.04.02 |
申请号 |
JP19900219583 |
申请日期 |
1990.08.21 |
申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
INOGUCHI KAZUYUKI;IKETANI MASAHISA;ITO YUKO |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/283;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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