| 摘要 |
<p>Procédé et appareil amélioré de transfert et d'acheminement de produits chimiques de grande pureté utilisés dans la production de semi-conducteurs ainsi que dans des procédés similaires. Le fait d'employer des cuves de pression alternantes multiples (26, 74a, 74b) permet d'acheminer des produits chimiques virtuellement à partir de n'importe quelle source (10) de produit en vrac vers un ou plusieurs utilisateurs finaux (106). L'emploi d'un système à vide (32) permet de soutirer des produits chimiques par des conduits étanches, évite d'avoir à utiliser des pompes constituant une source à la fois de problèmes d'entretien et de contamination dans le système. Des cuves multiples (26, 74a, 74b) permettent diverses options de débit, parmi lesquelles l'acheminement continu de produits chimiques vers les utilisateurs finaux (106), le recyclage et le filtrage réguliers (120, 64, 102) pendant les périodes creuses, ainsi qu'une redondance intégrée évitant la coupure du système en cas de panne d'un constituant.</p> |
