| 发明名称 |
ANIONICALLY POLYMERIZABLE MONOMERS, POLYMERS THEREOF, AND USE OF SUCH POLYMERS IN PHOTORESISTS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0502128(A4) |
申请公布日期 |
1992.04.02 |
| 申请号 |
EP19910902819 |
申请日期 |
1990.11.20 |
| 申请人 |
LOCTITE CORPORATION |
发明人 |
WOODS, JOHN, G.;COAKLEY, PAULINE |
| 分类号 |
C07F7/10;C07F7/08;C07F7/18;C07F7/28;C08F30/04;C08F30/08;C08F130/04;C08F130/08;C08F136/14;C23C16/00;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/027 |
主分类号 |
C07F7/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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