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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMNITRID MIT EINEM HOHEN GEHALT AN ALPHA-PHASE.
摘要
申请公布号 DE3585435(D1) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 DE19853585435 申请日期 1985.12.23
申请人 ONODA CEMENT CO., LTD., ONODA, YAMAGUCHI, JP 发明人 KATO, HAJIME;TSUTSUMI, TAKESHI, CHIBA CITY CHIBA PREFECTURE, JP;NITTA, KOUJI, ONODA CITY YAMAGUCHI PREFECTURE, JP;MIURA, EIICHI, UBE CITY YAMAGUCHI PREFECTURE, JP
分类号 C01B21/068;C04B35/591;(IPC1-7):C01B21/068;C04B35/58 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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