| 发明名称 |
THIN FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU622350(B2) |
申请公布日期 |
1992.04.02 |
| 申请号 |
AU19900061291 |
申请日期 |
1990.08.23 |
| 申请人 |
TAIYO YUDEN CO LTD |
发明人 |
MIZUHO IMAI;MIKIO SEKIGUCHI;NOBUYASU SHIBA;HIDEYO IIDA |
| 分类号 |
C23C18/02;C03C17/00;C23C16/448;C23C16/54;C23C18/12;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/283;H01L21/288;H01L31/042;(IPC1-7):B05B13/02 |
主分类号 |
C23C18/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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