发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04101421(A) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 JP19900219253 申请日期 1990.08.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA TATSUYA;KATO YOSHIAKI;UEDA TETSUYA
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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