FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SURFACE PROTECTIVE FILM,申请号JP19900220336-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SURFACE PROTECTIVE FILM
摘要
申请公布号	JPH04101422(A)	申请公布日期	1992.04.02
申请号	JP19900220336	申请日期	1990.08.21
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	SUGITANI SUEHIRO;ASAI KAZUYOSHI
分类号	H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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