| 发明名称 |
HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER HALBLEITERVORRICHTUNG. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3485520(D1) |
申请公布日期 |
1992.04.02 |
| 申请号 |
DE19843485520 |
申请日期 |
1984.05.25 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
OUCHI NORIKAZU SONY CORPORATIO;KAYANUMA AKIO SONY CORPORATION;ASANO KATSUAKI SONY CORPORATIO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/033;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L29/72 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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