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发明名称 ELECTRON-BEAM EXPOSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04100205(A) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 JP19900217847 申请日期 1990.08.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 DAIKYO YOSHIHISA;TAKAHASHI YASUSHI;SAKAMOTO JUICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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