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发明名称 DRY-ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH04100226(A) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 JP19900218596 申请日期 1990.08.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIBE TORU;NUNOGAMI SHINYA;KUROBE ATSUSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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