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发明名称 INTEGRIERTER HALBLEITERSCHALTKREIS
摘要
申请公布号 DE4113931(A1) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 DE19914113931 申请日期 1991.04.29
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAGUCHI, ATSUO;TAKEBAYASHI, ETSUSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/8238;G05F3/24;G05F3/28;H01L27/02;H01L27/092;H01L29/861;H03F1/30 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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