发明名称 NORMAL-PRESSURE FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04100214(A) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 JP19900217219 申请日期 1990.08.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUJITA HIROSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址