APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING SURFACE CHARACTERISTICS.

摘要

Un appareil de mesure de la rugosité de surface utilise des images de diffraction provenant de la surface mesurée. Les énergies des différents ordres sont détectées et traitées à l'aide de différents algorithmes en fonction d'un certain nombre de facteurs tels que par exemple, le nombre d'ordres dans l'image de diffraction et l'asymétrie de l'image de diffraction. Diverses fonctions de filtre à la fois pour l'image de diffraction elle-même et pour des valeurs de rugosité de surface après mesure sont décrites. Un algorithme pour mesurer la rugosité de surface consiste à comparer des valeurs représentant les ordres d'énergie avec des valeurs de référence, de préférence des valeurs de référence obtenues par une opération d'interpolation entre une série de valeurs de référence représentatives d'une image de diffraction provenant d'une surface symétrique et une autre série représentative d'une image de diffraction provenant d'une surface asymétrique.