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发明名称 PROCESS FOR PREPARING SUPERCONDUCTING OXIDE THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0461645(A3) 申请公布日期 1992.04.01
申请号 EP19910109666 申请日期 1991.06.12
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI;HATTORI, HISAO;ITOZAKI, HIDEO
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C23C14/28;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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