Die Erfindung betrifft einen hochempfindlichen Oberflächenwellen-Gassensor, bei dem durch die Wechselwirkung eines Oberflächenwellenfeldes mit einem zur Adsorption des zu bestimmenden Gases geeigneten Festkörperfilm die Frequenz eines eine Oberflächenwellenverzögerungsleitung enthaltenden Schwingkreises in Abhängigkeit von Gasart und Gaskonzentration verändert wird, wobei die für die Adsorption des Gases vorgesehene Verzögerungsleitung vollständig mit dem Festkörperfilm beschichtet ist und die Verzögerungleitungen so bemessen sind, daß die Oberflächenwellen-Wandlerlänge größer ist als die der Verzögerungsleitung.
申请公布号
EP0477648(A1)
申请公布日期
1992.04.01
申请号
EP19910115255
申请日期
1991.09.10
申请人
BASF AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
FUCHS, HARALD, DR.;SCHREPP, WOLFGANG, DR.;RAPP, MICHAEL, DR.;HUNKLINGER, SIEGFRIED, PROF. DR.;VON SCHICKFUS, MANFRED, DR.