发明名称 COIL FOR GENERATING MAGNETIC FIELD IN DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0499886(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900217617 申请日期 1990.08.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAGARA ICHIRO
分类号 C23F4/00;H01F7/20;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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