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经营范围
发明名称
COIL FOR GENERATING MAGNETIC FIELD IN DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0499886(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900217617
申请日期
1990.08.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAGARA ICHIRO
分类号
C23F4/00;H01F7/20;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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