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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0499016(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900207753
申请日期
1990.08.06
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OGOSHI TAKESHI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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