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发明名称 MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 JPH0499359(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900217718 申请日期 1990.08.18
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHINDO AKINORI
分类号 H01L23/28 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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