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经营范围
发明名称
ION BEAM PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0498747(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900214429
申请日期
1990.08.15
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
ITO FUMIKAZU;SHIMASE AKIRA;HARAICHI SATOSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO;OKAMOTO EMIKO;OTSUKA KOJI
分类号
H01J37/20;H01J27/22;H01J37/305;H01L21/027
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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