发明名称 ION BEAM PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0498747(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900214429 申请日期 1990.08.15
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 ITO FUMIKAZU;SHIMASE AKIRA;HARAICHI SATOSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO;OKAMOTO EMIKO;OTSUKA KOJI
分类号 H01J37/20;H01J27/22;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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