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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US5100476(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 US19900499643 申请日期 1990.03.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MASE, YASUKAZU;HIRATA, OSAMU;ABE, MASAHIRO
分类号 B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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