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发明名称 MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0499867(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900216093 申请日期 1990.08.16
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 TANAKAI YASUHARU
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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