| 发明名称 |
ROTATING MAGNETRON INCORPORATING A REMOVABLE CATHODE |
| 摘要 |
A rotatable magnetron having a cathode and a bearing assembly wherein the cathode may be removed from a coating chamber while the bearing assembly remains in place.
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| 申请公布号 |
US5100527(A) |
申请公布日期 |
1992.03.31 |
| 申请号 |
US19900600203 |
申请日期 |
1990.10.18 |
| 申请人 |
VIRATEC THIN FILMS, INC. |
发明人 |
STEVENSON, DAVID E.;BJORNARD, ERIK J.;HUMBERSTONE, GEOFFREY |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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