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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0498831(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900216094 申请日期 1990.08.16
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ISHIZAKI KATSUTOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/285 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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