| 发明名称 |
INSPECT ON METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS51132777(A) |
申请公布日期 |
1976.11.18 |
| 申请号 |
JP19750056088 |
申请日期 |
1975.05.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOBAYASHI KAZUO;TANAKA AKIRA;MIYAMOTO NORIMASA |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/28;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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