发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SINGLE-CRYSTAL FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0499311(A) |
申请公布日期 |
1992.03.31 |
申请号 |
JP19900217338 |
申请日期 |
1990.08.17 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUGAHARA KAZUYUKI;IPPOSHI TAKASHI |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/263;H01L27/00 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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