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经营范围
发明名称
CARRIER FOR TRANSPORTING BASE PLATE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH0499275(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900210172
申请日期
1990.08.10
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
SUWA HIDENORI
分类号
C23C14/34;C23C14/50
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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