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发明名称
VACUUM VAPOR DEPOSITION METHOD FOR COMPOUND
摘要
申请公布号
JPH0499170(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900209033
申请日期
1990.08.07
申请人
NISSHIN STEEL CO LTD
发明人
MIZUNO ATSUSHI;FUKUI YASUSHI;YOSHII TSUGUYASU
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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