发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MICRO-MOVEMENT
摘要
申请公布号 JPH0499989(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900153094 申请日期 1990.06.11
申请人 YASKAWA ELECTRIC CORP 发明人 KAWAHARA ATSUSHI;MATSUZAKI KAZUNARI
分类号 G12B5/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
地址