发明名称 APPARATUS FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0499866(A) 申请公布日期 1992.03.31
申请号 JP19900211605 申请日期 1990.08.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORITA TAKESHI;OKA KAZUHIRO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址