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经营范围
发明名称
OVEN
摘要
申请公布号
JPH0498837(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900216139
申请日期
1990.08.16
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
TOMIYASU SUEHIRO
分类号
H01L21/324;H01L21/027;H01L21/304
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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