发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0497546(A) 申请公布日期 1992.03.30
申请号 JP19900215547 申请日期 1990.08.15
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAGATA YASUJI
分类号 H01L21/3213;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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