| 发明名称 |
PROCESS FOR ELECTROHEMICAL SOLVING SEMICONDUCTIVE MATERIALS FOR DETERMINING ALTERNATION OF SEMICONDUCTIVE ADDITIVE'S CONCENTRATION IN DEEP LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HUT58833(A) |
申请公布日期 |
1992.03.30 |
| 申请号 |
HU19900004176 |
申请日期 |
1990.07.12 |
| 申请人 |
SEMILAB FELVEZETOE FIZ LAB RT |
发明人 |
HORANYI TAMAS;TUETTOE PETER;ENDREDI GABOR |
| 分类号 |
H01L21/3063;(IPC1-7):C25F3/12;G01N27/26 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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