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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0497518(A) 申请公布日期 1992.03.30
申请号 JP19900215357 申请日期 1990.08.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRAO HIDEJI;YAMAMOTO HIROSHI;TERAI YUKA;FUJII TOYOKAZU
分类号 H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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