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经营范围
发明名称
DEPOSITION METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
JPS5360562(A)
申请公布日期
1978.05.31
申请号
JP19760135304
申请日期
1976.11.12
申请人
HITACHI LTD
发明人
TATEFURU NOBORU;INABA KEIZOU
分类号
C30B31/02;H01L21/223
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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