发明名称 BLOCK SHAPE DETERMINING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0496250(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900207238 申请日期 1990.08.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAGUCHI RYUICHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址