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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0496333(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900213998 申请日期 1990.08.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 NAKAMURA MASAYUKI;MIWA HITOSHI;OTA TATSUYUKI;AKIYAMA NOBORU;WADA SHOJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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