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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0496280(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900207308 申请日期 1990.08.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARAKI TATSU
分类号 G01P15/12;H01L29/84 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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