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经营范围
发明名称
WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0496346(A)
申请公布日期
1992.03.27
申请号
JP19900213858
申请日期
1990.08.13
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAMORI ATSUSHI
分类号
G01R31/26;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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