发明名称 WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0496346(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900213858 申请日期 1990.08.13
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMORI ATSUSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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