发明名称 |
CANTILEVER-TYPE PROBE, SCANNING TUNNEL CURRENT DETECTOR AND DATA PROCESSOR USING THE PROBE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0495804(A) |
申请公布日期 |
1992.03.27 |
申请号 |
JP19900213765 |
申请日期 |
1990.08.14 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAGI TAKAYUKI;NOSE HIROYASU;SHINJO KATSUHIKO |
分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q70/06;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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