发明名称 CANTILEVER-TYPE PROBE, SCANNING TUNNEL CURRENT DETECTOR AND DATA PROCESSOR USING THE PROBE
摘要
申请公布号 JPH0495804(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900213765 申请日期 1990.08.14
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI;NOSE HIROYASU;SHINJO KATSUHIKO
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q70/06;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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