发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0494162(A) 申请公布日期 1992.03.26
申请号 JP19900211220 申请日期 1990.08.09
申请人 NEC CORP 发明人 INOUE TATSURO
分类号 H01L21/3213;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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