发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5434768(A) |
申请公布日期 |
1979.03.14 |
申请号 |
JP19770100484 |
申请日期 |
1977.08.24 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONO RIYOUICHI;INABA KEIZOU;SHIMIZU SHIYUUICHI |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|