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发明名称 GENERATING DEVICE OF MICRO ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH0493800(A) 申请公布日期 1992.03.26
申请号 JP19900210236 申请日期 1990.08.10
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YONEZAWA HIROKI;SUZUKI YASUSHI;SHIGEMATSU TOSHIO
分类号 G21K5/04;H01J37/04;H01J37/09;H05H7/00 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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