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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0493086(A) 申请公布日期 1992.03.25
申请号 JP19900211393 申请日期 1990.08.08
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 IWAHASHI MASANORI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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