发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0492423(A) 申请公布日期 1992.03.25
申请号 JP19900208113 申请日期 1990.08.08
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 NUKUI TOSHIO
分类号 H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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