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发明名称 WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0493046(A) 申请公布日期 1992.03.25
申请号 JP19900209902 申请日期 1990.08.08
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMIZU KAZUKI
分类号 H01L21/677;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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