| 发明名称 |
Chamber with a warm and a cold area and at least one gas inlet tube. |
| 摘要 |
<p>Chambre ayant, considérée selon son axe longitudinal, une zone chaude et une zone froide, et ayant au moins une tubulure d'introduction (32) de gaz. Cette chambre comprend un bouchon isotherme (30) muni de moyens de déplacement longitudinal (40) pour être positionné entre la zone froide (2) et la zone chaude (1) dans une zone dite intermédiaire (3), et muni de moyens de couplage (36) avec la tubulure (12) pour transmettre dans la zone chaude (1) le(les) gaz introduit(s) par la tubulure (32) pour son(leur) utilisation. Application :: Réalisation de dispositifs semiconducteurs du groupe III-V <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0476774(A1) |
申请公布日期 |
1992.03.25 |
| 申请号 |
EP19910202373 |
申请日期 |
1991.09.17 |
| 申请人 |
LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE PHILIPS;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
FOUCHER, CLAUDE;MALUENDA, JOSE |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B31/16;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/324 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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